设为首页　 加入收藏　 留言板　 联系我们　
 
首页 --> 气体产品 --> 电子气

蚀刻混和气

　　 蚀刻就是将基片上无光刻胶掩蔽的加工表面(如金属膜、氧化硅膜等)蚀刻掉，而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来，以便在基片表面上获得所需要的成像图形。
　　 蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法化学蚀刻所用气体称为蚀刻气体。蚀刻气体通常多为氟化物气体(卤化物类)，例如四氟化碳、三氟化氮、三氟甲烷、六氟乙烷、全氟丙烷等。常用蚀刻混合气列于 表14-蚀刻混合气.jpg 。



     
 
 
  上海通盈气体化工有限公司
地址：上海市汶水路301号B座237室
电话：021－13761004218
联系邮件：sales@tongyinggas.com