气体名称

化学式

规格 (%)

杂质 (ppm)

氦气

He

99.995%

CH 4 ≤1 CO 2 ≤1 Ne≤10 H 2 ≤3 CO≤1 H 2 0≤10

99.999%

O 2 ≤1 CH 4 ≤1 CO 2 ≤0.5 Ne≤4 H 2 ≤1 CO≤0.5 H 2 O≤3

99.9995%

O 2 ≤0.5 CH 4 ≤0.1 CO 2 ≤0.2 Ne≤1 H 2 ≤0.1 CO≤0.1 H 2 O≤1

氩

Ar

99.99%

O 2 ≤10 THC≤10 N 2 ≤50 H 2 ≤5 H 2 O≤15

99.999%

O 2 ≤2 THC≤2 N 2 ≤5 H 2 ≤1 H 2 O≤4

99.9995%

O 2 ≤1 THC≤0.5 N 2 ≤2 H 2 ≤0.5 H 2 O≤1

氢

H 2

99.99%

O 2 ≤5 CO 2 ≤5 N 2 ≤60 CH 4 ≤10 CO≤5 H 2 O≤30

99.999%

O 2 ≤1 CO 2 ≤1 N 2 ≤5 CH 4 ≤1 CO≤3 H 2 O≤1

氮

N 2

99.99%

O 2 ≤50 CO 2 ≤10 H 2 ≤10 CO≤5 H 2 O≤15 CH 4 ≤5

99.999%

O 2 ≤1 H 2 O≤2 H 2 ≤1 HC≤3

氧

O 2

99.995%

Ar≤20 CO 2 ≤1 N 2 ≤20 HC≤2

二氧化碳

CO 2

99.995%

O 2 ≤10 H 2 O≤5 N 2 ≤20 CO≤1 HC≤10

99.999%

O 2 ≤1 H 2 O≤2 N 2 ≤5 CO≤1 HC≤1

一氧化碳

CO

99.95 %

氮气 <350, 氧气 <50, 水 <5

气体名称

化学式

规格 (%)

杂质 (ppm)

二氧化硫

SO 2

99.9%

氧 + 氮 <100, 水 <10, 其他 <200

一氧化氮

NO

99.5%

氧化亚氮 <4000 、二氧化氮 <2000 、氮气 <300 、二氧化碳 <500

二氧化氮

NO 2

99.9%

氧化亚氮

N 2 O

99.99%

氖

Ne

99.995%

H 2 ≤2 N 2 ≤5 He≤40 THC≤1 O 2 +Ar≤2 H 2 O≤2

99.999%

O 2 ≤1 N 2 ≤5 H 2 O≤2 He≤10

氪

Kr

99.99%

N 2 ≤20 H 2 ≤2 O 2 +Ar≤5 Xe≤50 H 2 O≤3 THC≤3

99.998%

N 2 ≤3 H 2 ≤0.5 O 2 +Ar≤2 Xe≤4 H 2 O≤2.6 THC≤1

氙

Xe

99.99%

N 2 ≤20 Ar≤10 N 2 O≤1 O 2 ≤2 H 2 ≤2 Kr≤50 H 2 O≤3 HC≤3

99.998%

N 2 ≤3 THC≤1 N 2 O≤0.5 O 2 +Ar≤2 H 2 O≤2.6 H 2 ≤0.5 Kr≤4

硫化氢

H 2 S

99.9%

氢气 <200ppm 、氧气 + 氮气 <100ppm 、水 <3ppm

液氯

Cl 2

99.9%

二氧化碳 <400 、一氧化碳 <10 、氢气 <200 、氮气 <100 、氧气 <20 、水 <100

99.999%

氨

NH 3

99%

99.999%

氧气 <1.0ppm, 氮气 <2.0ppm ，一氧化碳 <1.0ppm 水含量 <2.0ppm,THC(C1~C3) <1.0ppm

六氟化硫

SF 6

99.99%

O 2 ≤10 H 2 0≤5 N 4 ≤40 HF≤0.1 CF 4 ≤25

合成空气

Air

O 2 :19.5 ～ 22.5%

H 2 O≤5 CO/CO 2 ≤0.5 THC≤5

零空气

O 2 : 19.5 ～ 22.5%

H 2 O≤5 CO/CO 2 ≤0.5 THC≤0.1