激光混和气

　　 一切以气体或蒸气作为激光工作物质的激****，统称为气体激****。通常可以把气体激****划分为原于气体激****、离子气体激****、分子激****和准分子激****。气体激****的激励方式很多，通常采用气体放电激励，此外还可采用电子束激励、气动式激励、化学激励、光激励和核动激励等。气体激****与液体激****、固体激****和半导体激****一样，已经实现了实用化。它已广泛用于工农业生产、科学研究、国防建设和医疗卫生等领域。气体激****的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在，将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)-氖(Ne)激光作为第一代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。 表1-激光混合气.jpg 列出常见的氦氖激光混合气、二氧化碳激光混合气、氪氟激光混合气、密封束激光混合气和准分子激光混合气的组成和具体用途。